При производстве чипов нового поколения вместо меди будет использоваться кобальт

Впервые за последние 20 лет базовый материал, используемый для изготовления внутричиповых соединений и контактов транзисторов, будет изменен. До 1997 года производители использовали алюминий, пока американская компания IBM не заменила его медью. Благодаря этому производительность транзисторов выросла на 30%. С тех самых пор глобальная полупроводниковая индустрия использовала для изготовления чипов медь. Между тем при производстве микропроцессоров по нормам 10-нм техпроцесса и ниже медь показывает себя уже не настолько хорошо, как ранее, поскольку физические возможности данного металла практически полностью исчерпаны.
 
Решение проблемы с устранением «бутылочного горлышка» в виде соединений из меди, тормозящих рост производительности транзисторов, взяла на себя компания Applied Materials. Согласно обнародованному компанией пресс-релизу она приступила к поставкам промышленного оборудования, предназначенного для изготовления микрочипов по нормам 7-нм техпроцесса с использованием кобальта. В документе отмечается, что за счет замены металлизации из меди и вольфрама на кобальт производительность транзисторов увеличится как минимум на 15%. Это не только продлит закон Мура, но и позволит значительно приблизить эру Big Data и ИИ-технологий.
 
Applied Materials предлагает вниманию своих клиентов весь спектр оборудования, позволяющего использовать при производстве чипов кобальт вместо меди. Речь идет о фирменной платформе Endura, включающей в себя оборудование для очистки кремниевых пластин, камеры химического и парового осаждения, а также установки для формирования атомарных слоев и полировки пластин. Кроме этого, комплект оборудования для работы с кобальтом включает в себя, полировочные установки Reflexion LK Prime CMP, печи для отжига слоев Producer и платформу PROVision, предназначенную для проверки качества готовых изделий.
 
Стоит отметить, что на сегодняшний день кобальт заметно дороже меди. Более того, данный металл пользуется особой популярностью у производителей аккумуляторных блоков. Таким образом, не исключено, что кобальтовые соединения могут стать «золотыми».